現(xiàn)提供一種鋁膜工藝方法，能完全去除聚合物，保護鋁膜不會被腐蝕。

鋁膜工藝方法適用于厚度不低于的鋁膜，去除金屬膜時去掉聚合物，再用濕法刻蝕加干法刻蝕將剩余聚合物完全去除。去除金屬膜采用氧氣流和水剝離的方法。進一步地，去除金屬膜時溫度控制在230～270℃。氧氣流使用工藝參數(shù)為：壓力2Torr,射頻功率0W，氧氣流量4000sccm，時間為20s；水剝離使用工藝參數(shù)為：壓力2Torr，射頻功率1400w，水蒸氣流量500sccm，時間為60s。在金屬膜剝離時去除聚合物，再用濕法刻蝕和干法刻蝕完全去除剩余的聚合物，能將聚合物去除干凈，增加后續(xù)工藝腐蝕窗口。

具體實施方式

1.一種鋁膜工藝方法，適用于厚度不低于的鋁膜，其特征在于：去除金屬膜時去掉聚合物，再用濕法刻蝕加干法刻蝕將剩余聚合物完全去除。

2.鋁膜工藝方法，其特征在于：去除金屬膜采用氧氣流和水剝離的方法。

3.鋁膜工藝方法，其特征在于：去除金屬膜時溫度控制在230～270℃。

4.鋁膜工藝方法，其特征在于：氧氣流使用工藝參數(shù)為:壓力2Torr,射頻功率0W。